上海推进科技创新中心建设办公室

上海市张江高新技术产业开发区管理委员会

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关于“激光微纳加工技术集成与验证平台建设—集成电路制造中源漏极激光退火关键技术研究和设备开发” 项目验收审计和评估情况的函

来源:

发布时间:2022-01-17

徐汇区财政局、徐汇区科委:

“十三五”张江国家自主创新示范区专项发展资金重大项目“激光微纳加工技术集成与验证平台建设——集成电路制造中源漏极激光退火关键技术研究和设备开发”(项目编号ZJ2020-ZD-006)的首笔和中期资金已分别于2020年11月、2021年6月拨付至项目单位。

根据项目单位申请和联合管理单位意见,我办委托第三方专业机构对该项目实施了验收审计和评估。近期,第三方机构经评审,建议该项目通过验收。现我办商请贵单位拨付“激光微纳加工技术集成与验证平台建设——集成电路制造中源漏极激光退火关键技术研究和设备开发”项目尾款460.79万元。

特此致函。


附件:“十三五”张江专项发展资金重大项目“激光微纳加工技术集成与验证平台建设——集成电路制造中源漏极激光退火关键技术研究和设备开发”用款情况一览表



上海推进科技创新中心建设办公室

2022年1月17日


十三五张江专项发展资金重大项目

“激光微纳加工技术集成与验证平台建设—集成电路制造中源漏极激光退火关键技术研究和设备开发”

用款情况一览表

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